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本发明涉及离子注入机技术，用于解决离子源固定机构拆卸耗费时间，固定结构易遗失，拆卸的连接线占用空间且易出现安装出错的问题，具体为一种离子注入机用离子源固定机构，包括旋转底板；本发明通过下滑动块在自身重力作用下，且受到降速箱内非牛顿流体的影响缓慢下滑，防止对连接线造成拉扯损伤，并通过同步插板带动上滑动块一起对连接线进行梳理，减小散乱的连接线占用空间的同时，便于工作人员对各段连接线的检查，通过传动齿带在传输过程中带动升降框架上的各个传动转轮进行转动，传动转轮转动过程中对松紧螺栓进行同步的松动操作，使
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116779400 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202311006830.0
(22)申请日 2023.08.11
(71)申请人 无锡翔域半导体有限公司
地址 2
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