一种图像传感器及其制造方法.pdfVIP

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2023-09-20 发布于四川
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一种图像传感器及其制造方法.pdf

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本发明公开了一种图像传感器及其制造方法，所述图像传感器至少包括：逻辑基板；像素层，连接于所述逻辑基板，所述像素层中设置有多个深沟槽隔离结构；多个光电反应区，阵列分布在所述像素层中，且所述光电反应区设置在相邻的所述深沟槽隔离结构之间；氧化层，设置在所述像素层上；以及防反射结构，覆盖在所述氧化层上，所述防反射结构分布在相邻的所述深沟槽隔离结构之间，且所述防反射结构覆盖所述光电反应区，其中，所述防反射结构、所述氧化层和所述光电反应区沿着光线的入射方向依次排布。本发明提供了一种图像传感器及其制造方法，能

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116779630 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202311056576.5 (22)申请日 2023.08.22 (71)申请人合肥晶合集成电路股份有限公司地址