一种电子束控制方法.pdfVIP

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2023-09-20 发布于四川
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一种电子束控制方法.pdf

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本发明公开了一种电子束控制方法，包括：电子加速器产生相应的电子束通过格栅和钛膜引出；通过设置在格栅上的多组通孔引出待检测的电子束流；通过与各组通孔相配合的扫描边界检测装置以对实时引出电子束是否超出扫描边界进行检测；通过与扫描边界检测装置通信连接的扫描控制系统调节扫描线圈的参数，进而调整电子速的扫描边界大小；通过与检测装置连接的束流控制系统调节束流大小,达到束流实时稳定引出效果，同时达到实时动态监测效果。本发明提供一种电子束控制方法，通过在线测量电子束扫描边界，从而控制扫描参数，从而实现电子束引出

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 106793444 A (43)申请公布日 2017.05.31 (21)申请号 20161