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本发明公开了一种SiC陶瓷的化学气相沉积制备系统及制备方法，属于材料制备技术领域，包括以下步骤：将利用气路管道将316L不锈钢罐、蠕动泵、混气罐、气体浮子流量计、化学气相沉积炉、尾气过滤罐和真空隔膜泵依次连接，组装CVD系统；将化学气相沉积炉进行预热后，打开装有液态的三氯甲基硅烷mts的316L不锈钢罐和蠕动泵，调节所述蠕动泵滚轮的转向和转速，控制液态mts的出口流量；调节通过气体浮子流量计的旋钮，调整气态mts的出气量，使mts气体进入炉体内分解并生成SiC陶瓷样品，其中尾气经过滤罐过滤后被隔
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116770262 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310758540.5
(22)申请日 2023.06.26
(71)申请人 北京理工大学
地址 100081
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