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本发明公开了一种更换高频信号生成器的辅助工具及其化学沉积设备，所述辅助工具包括升降支架和顶部支撑板；所述顶部支撑板设置在所述升降支架的顶部，所述升降支架能够带动所述顶部支撑板上下移动；所述顶部支撑板用于支撑和承载高频信号生成器。上述技术方案解决了更换高频信号生成器时面临的有限空间和没有着力点的问题，降低了作业风险，且制作成本低，便于操作，保证了更换质量，提高了设备维护的整体效益，填补了半导体领域没有相关工具的空白。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116766110 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310758578.2
(22)申请日 2023.06.26
(71)申请人 盛吉盛半导体技术（上海）有限公司
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