晶圆电阻膜制备装置以及制备方法.pdfVIP

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2023-09-20 发布于四川
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晶圆电阻膜制备装置以及制备方法.pdf

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本发明涉及电阻器技术领域，公开了一种晶圆电阻膜制备装置以及制备方法，包括滚筒、驱动装置、挡板、电子枪和坩埚，驱动装置带动滚筒转动，进而带动滚筒内的陶瓷棒不断运动，电子枪朝向坩埚蒸发源，挡板在开启和关闭位置之间切换。本发明的有益效果为：能够准确控制电阻膜厚度，工艺易管控，重复性好，在可靠性和稳定性等方面均优于滚筒溅射沉积的电阻膜和片式固定电阻器，制备方法也更简单高效，具有良好的适配性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116779267 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202310747783.9 (22)申请日 2023.06.25 (71)申请人广东风华高新科技股份有限公司地址