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硬质合金基体刻蚀预处理对TiAlN涂层结构和性能的影响
摘 要
在切削刀具上涂覆一层耐磨硬质可以起到延长刀具使用寿命和提高刀具切削性能的能力，已成为目前硬质合金刀具的重要发展方向。而良好的膜基结合力是硬质涂层有效提高切削刀具使用性能的先决条件。本论文主要研究硬质合金预处理方式对TiAlN刀具涂层结构和力学性能的影响。基于阴极弧蒸发沉积技术，采用Ti或Cr金属离子在不同的刻蚀工艺下对YT15硬质合金基体进行轰击处理时，结合扫描电子显微镜和激光共聚焦显微镜研究刻蚀时间和加速电场偏压对硬质合金基体表面粗糙度的影响。此外，进一步结合X射线衍射分析、纳米压痕和大载荷划痕研究不同预处理工艺对后续沉
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