一种小型MEMS传感器测试设备及测试方法.pdfVIP

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2023-09-20 发布于四川
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一种小型MEMS传感器测试设备及测试方法.pdf

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本发明提供一种小型MEMS传感器测试设备及测试方法，涉及MEMS传感器测试领域。该基于MEMS传感器测试设备及测试方法，包括固定架，所述固定架的内侧中部设置有箱体，所述箱体的内部后侧左端固定连接在温度检测仪的后端，所述箱体的内部后侧右端固定连接在压强检测仪的后端，所述固定架的内侧上下端中部均固定连接在伸缩杆缸体底端，所述伸缩杆杆体顶端分别贯穿箱体的上下端中部并固定连接在压缩板的靠外一侧中部，所述箱体的内部设置有MEMS传感器。温度检测仪和压强检测仪对箱体内的温度和压强采集，MEMS传感器对箱体内

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116772919 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202310800411.8 (22)申请日 2023.07.03 (71)申请人苏州英特联智能科技有限公司地址