原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种高低负荷适用的三氯氢硅合成气洗涤方法和控制系统、方法，属于三氯氢硅合成工艺技术领域，由至少2个三氯氢硅合成炉顶部出去的合成气送入洗涤单元进行洗涤，再送至冷凝器处理，冷凝处理后得到的不凝气送至再生氢系统；冷凝处理后得到的液相收集至产品液储罐；洗涤单元包括并联的大洗涤塔和小洗涤塔，洗涤单元工作时，择一开启大洗涤塔或小洗涤塔，大洗涤塔的处理量可满足与其连接的全部三氯氢硅合成炉同时运行时产生气体的洗涤，解决现有技术中由多台三氯氢硅合成炉顶部出去的高温合成气，进入淋洗塔进行洗涤，出现洗涤塔
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116764355 A
(43)申请公布日 2023.09.19
(21)申请号 202310583684.1 B01D 53/14 (2006.01)
(22)申请日 2023.05.
文档评论（0）