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MEMS压阻式压力传感器批量测试研究的中期报告 中期报告： 一、研究进展 1. 设备准备 完成了MEMS压阻式压力传感器批量测试的设备准备。主要设备包括自动化测试系统、高精度接口板、高精度电源供应器、标准参考传感器等。 2. 测试方法优化 首先在测试中发现了一些传感器的测试数据异常，通过排查分析，发现其中一个重要的原因是传感器间的差异导致测试过程中无法准确地检测出传感器的性能指标。为了解决这个问题，我们对传感器测量电路进行了优化设计，并改变了测试流程顺序，最终消除了数据异常的情况。 3. 可靠性测试 针对传感器的可靠性进行了测试。我们对传感器进行了长时间稳定性测试和环境适应性测试。测试结果显示，传感器在不同环境下的测试结果基本一致，具有高可靠性和稳定性。 二、下一步工作计划 1. 进行更多的数据测试，以进一步验证传感器的性能指标，并确定是否需要进一步优化测试方法。 2. 进一步优化测试流程，减少测试时间和测试成本。 3. 开发更高效的数据分析工具，提高数据分析的准确性和效率。 4. 进一步探索传感器的应用领域，为传感器的商业化落地提供技术支持。