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硅中氧、碳及其含量测定 硅中氧、碳及其含量测定 1.硅晶体中的氧 直拉硅单晶中不可避免地存在氧。尽管氧的含量不高，在百万分之二十 （20ppma）左右，相当于硅晶体中直线距离不到 40 个硅原子有一个氧原子， 它们的作用却不可忽视。硅中的氧，取决于它存在的量、分布和存在的方式， 对硅中缺陷的形成和晶片的特性有重要的影响。因此，精确地测定和控制硅单 晶中的氧含量是硅材料制造和器件加工中必不可少的环节，硅中氧含量是当今 硅材料与器件制造业进行验收、工艺监控以及研究开发所必需掌握的