带反馈的膜片式压力传感系统.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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带反馈的膜片式压力传感系统.pdf

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本发明涉及带反馈的膜片式压力传感系统，其包括主体、膜片以及反馈组件。主体设置气腔。膜片设置于气腔的开口处，膜片两侧产生压力差时，膜片形变并朝向压力较小一侧产生位移；反馈组件设置于主体，反馈组件用于提供作用于膜片的反馈场，膜片在反馈场的作用下形变产生位移。带反馈的膜片式压力传感系统在对待测环境压力进行检测时，膜片两侧的气压差使得膜片形变以发生位移，通过膜片的位移值可以确定待测环境压力。当需要扩大膜片所测压力范围时，可以通过反馈组件形成反馈场，使得膜片可以朝向与原形变位移方向相反的方向进行形变位移，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116793558 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310192599.2 G01H 9/00 (2006.01) (22)申请日 2023.03.0