一种晶圆清洗装置.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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一种晶圆清洗装置.pdf

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本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括箱体，其内部设置有溢流槽；支撑组件，其设置于所述溢流槽中，以支撑并带动晶圆旋转；喷液组件，其设置于所述溢流槽中，以朝向溢流槽底部喷射液体；所述溢流槽包括槽主体、整流部和收缩部，所述槽主体为矩形槽体，所述整流部和收缩部依次设置于所述槽主体的上方；所述整流部与收缩部之间设置有振板，其倾斜设置并朝向晶圆发出高频声波；所述整流部为矩形槽体，其内部宽度小于槽主体的内部宽度；经由整流部上移的流体，能够将高频声波剥离的污染物从溢流槽的顶部排出。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116798914 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310787611.4 (22)申请日 2023.06.30 (71)申请人华海清科股份有限公司地址 30