一种基于多光谱成像系统的红外集成像素式滤光片及其制备方法.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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一种基于多光谱成像系统的红外集成像素式滤光片及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种基于多光谱成像系统的红外集成像素式滤光片及其制备方法，属于滤光片技术领域。本发明的红外集成像素式滤光片包括多个呈马赛克形式排列的像素单元；每个像素单元包括基底和设置于所述基底上的介质层，所述介质层内设置有第一金属光栅层和第二金属光栅层，所述第一金属光栅层和所述基底贴合；所述第一金属光栅层和所述第二金属光栅层平行设置，且所述第一金属光栅层和所述第二金属光栅层相对应；每个像素单元的光栅周期和/或光栅宽度不相同。仅需要改变金属光栅层的横向结构参数并选择合适的材料，就可实现近红外至远红外区

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116794758 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310643529.4 (22)申请日 2023.06.01 (71)申请人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿