一种具有针状结构的高灵敏度阵列式触觉传感器.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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一种具有针状结构的高灵敏度阵列式触觉传感器.pdf

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本发明公开了一种具有针状结构的高灵敏度阵列式触觉传感器。本发明包括金属电极、敏感单元、硅梁、压敏电阻和芯片框架；本发明采用具有支撑结构的质量块连接接触器顶部与微梁结构达到检测和分离垂直作用力与横向作用力的效果。采用微梁结构，改变原有扭转变形，通过直拉直压模式，将绝大部分的应力应变集中于梁上，贡献于压敏电阻的检测，与传统的压阻式传感器相比，很大程度的提高了传感器的灵敏度。采用压阻原理对摩擦力、压力等触觉力进行测量，法向力与剪切力的测量皆采用梁结构，在相同的负载下，相比于电容式传感器，在以不损耗灵敏

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116793546 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310008683.4 (22)申请日 2023.01.04 (71)申请人杭州电子科技大学地址 3100