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本实用新型涉及粒子计数器领域,提供了一种尘埃粒子计数器,包括:具有气源和探测单元的主机、表面测试探头、零过滤器、计数器排气管和计数器进气管;表面测试探头包括主体和设置在主体一端的底盖,主体具有吹气通道和吸气通道,底盖具有多个沿圆周方向间隔排布的吸气孔和多个沿圆周方向排布并大体沿径向延伸的吹气槽,主体的吹气通道与计数器排气管连通,主体的吸气通道与计数器进气管连通;底盖的吹气槽通过计数器排气管与所述主机的气源连通;底盖的吸气孔通过计数器进气管与主机的探测单元连通;计数器排气管上设有零过滤器。本实用新
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210514030 U
(45)授权公告日
2020.05.12
(21)申请号 20192
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