一种晶圆载具环定心定向装置.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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一种晶圆载具环定心定向装置.pdf

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本发明提供了一种晶圆载具环定心定向装置，包括：底板，所述底板上安装有第一运动单元和两个对称设置的第二运动单元；所述第一运动单元具有两个端部，所述两个端部分别可活动的连接于两个所述第二运动单元；驱动控制单元，用于驱动控制所述第一单元运动，进而使所述第一单元带动两个所述第二单元相互靠近或远离，两个所述第二运动单元的相对的端部用于夹紧所述晶圆载具环；所述第一单元和所述第二单元的运动路径相互垂直；所述驱动控制单元和所述第一运动单元之间通过弹性部件相连接。本发明能够实现晶圆载具环的定心定向，且结构简单、成

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116798923 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310682590.X (22)申请日 2023.06.09 (71)申请人乐孜芯创半导体设