ITO薄膜基础知识.docx

8 ITO 薄膜基础知识 一、 ITO薄膜的概念 ITO 薄膜是 Indium Tin Oxides 的缩写。作为纳米铟锡金 属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有 害的电子辐射，紫外线及远红外线。因此，喷涂在玻璃，塑 料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断对 人体有害的电子辐射及紫外、红外。 ITO 是一种 N 型氧化物 半导体-氧化铟锡,ITO 薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜, 通常有两个性能指标:电阻率和透光率. 二、 ITO薄膜的应用 ITO薄膜具有优良的光电性能,对可见光的透过率达95% 以上,对红外光的反射率70%,对紫外线的吸收率≥85%,对微