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一种晶圆加工用水套生产的排屑结构.pdfVIP

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  • 2023-09-23 发布于四川
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一种晶圆加工用水套生产的排屑结构.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆加工用水套生产的排屑结构，涉及晶圆加工用水套生产术领域，包括加工柜和排屑组件，所述加工柜的顶部架设有装置架，所述排屑组件设置于加工柜内部中央，且排屑组件的左右两侧设置有排料通道，而且排屑组件的底部表面安装有压料组件，并且排屑组件的底部连接设置有集屑组件。该晶圆加工用水套生产的排屑结构，通过将工作台设置于排屑组件的内部，不仅可以在一定程度上限制加工作业时废屑的飘散范围，同时配合内部各个结构可以在加工作业的同时快速将废屑汇聚于作业仓内，即可快速排屑游客将废屑集中回收至集屑组件

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219726829 U (45)授权公告日 2023.09.22 (21)申请号 202321049052.9 (22)申请日 2023.05.05 (73)专利权人 常州心匠智能装

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