一种晶圆清洗装置.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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一种晶圆清洗装置.pdf

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本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括：槽体；夹持组件，其设置于槽体中，用于夹持并带动待清洗晶圆旋转；第一活动罩，其设置于所述夹持组件与槽体之间；第二活动罩，其设置于所述第一活动罩与槽体之间；所述槽体中竖向设置有环状的立板，其将槽体分隔为内腔和外腔，所述第一活动罩的下端朝向内腔设置，所述第二活动罩的下端朝向外腔设置，所述第一活动罩和第二活动罩能够沿竖向独立移动，以在夹持组件的外侧形成不同的腔室，晶圆清洗飞散的流体能够经由不同腔室排放至槽体的外部。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116798913 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310773372.7 (22)申请日 2023.06.28 (71)申请人华海清科（北京）科技有限公司地