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本发明提供一种具有散热结构的超结二极管及其制作方法，上述的超结二极管包括衬底、外延层、附着层及多晶金刚石层；外延层设于衬底上；外延层背离衬底的一侧设有多级沟槽，多级沟槽沿第一方向延伸，多级沟槽的内壁覆盖设有附着层，多晶金刚石层沿第一方向延伸填充于多级沟槽内，以构建形成具有散热结构的超结结构。该超结二极管将多晶金刚石镶嵌到二极管内部，不仅能够有利于将器件内部的热量散发，还能形成超结结构，使得垂直方向上的电场从原始梯形分布变成了矩形分布，增大器件耐压值，而且多级沟槽的结构既能保证热量能及时散出，又能
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116799035 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310646088.3
(22)申请日 2023.06.01
(71)申请人 湖北九峰山实验室
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