基于多种光源干涉条纹的平面度测量技术研究.pdfVIP

硕 士 学 位 论 文 基于多种光源干涉条纹的 平面度测量技术研究 Research on Flatness Measurement Technology based on Interference Fringes of Multiple Light Sources 作 者 姓 名： 王凯 学科、 专业： 机械制造及其自动化 学 号： 指 导 教 师： 周平 教授 完 成 日 期： 2022.05.31 大连理工大学 Dalian University of T