一种晶圆切割切口检测装置.pdfVIP

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2023-09-23 发布于四川
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一种晶圆切割切口检测装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆切割切口检测装置，涉及晶圆检测技术领域。该晶圆切割切口检测装置，包括底座，所述底座的顶部焊接安装有支架，底座的上方设置有暗箱，暗箱和支架的顶端固定连接，底座的顶部固定安装有电动推杆，底座的上方设置有U形座，电动推杆的自由端和U形座固定连接，U形座的上方设置有放置座，底座的上方设置有驱动组件，暗箱的内侧顶部固定安装有检测设备，检测设备位于放置座的正上方，暗箱的内部设置有辅助检测组件。该装置通过设置吸盘，能够使得晶圆稳定贴合放置座，提高放置的稳定性，通过电机和连接杆的配合使用

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219738918 U (45)授权公告日 2023.09.22 (21)申请号 202320823740.X (22)申请日 2023.04.14 (73)专利权人百克晶半导体科技（苏州）有限公