一种隧道氧化物钝化接触的太阳能电池及其制备方法.pdfVIP

下载本文档

6
0
约1.16万字
约 10页
2023-09-23 发布于四川
举报
版权申诉

一种隧道氧化物钝化接触的太阳能电池及其制备方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及一种隧道氧化物钝化接触的太阳能电池及其制备方法，属于晶硅太阳能电池制备技术领域。所述制备方法包括：以单晶硅片作为基底，进行双面制绒，然后将制绒后硅片的正面进行纳米硼浆印刷，印刷完成后烘干，随后进行热推进和第一次酸洗，获得重掺硅片；将重掺硅片的正面进行硼扩散，随后对硅片的背面进行第二次酸洗和抛光，以及双面隧穿氧化模及多晶硅膜的制备，得多膜层硅片；将多膜层硅片进行双面磷扩散，随后对硅片的正面进行第三次酸洗和第一次碱洗，再对硅片进行第四次酸洗，再对硅片进行正面氧化铝沉积，再进行正面及背面的氮

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116799073 A (43)申请公布日 2023.09.22 (21)申请号 202310763222.8 (74)专利代理机构北京知联天下知识产权代理