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本发明涉及MEMS半导体领域，公开了基于激光制导的微光机电系统，包括四通道运算放大器、凸透镜和四象限光电传感器，所述凸透镜安装在四通道运算放大器的中部一侧，所述四象限光电传感器安装在四通道运算放大器的中部另一侧，所述凸透镜和四象限光电传感器之间设有供光线传播的通道，所述四通道运算放大器、凸透镜和四象限光电传感器共同组成MOEMS芯片。本发明能够在一块芯片上解决光学感知、光电转换、信号处理等多项功能，进而实现对光谱、偏振和光空间属性的操作和控制，而且具有微小性和精准性特征，这将使其在激光制导中发挥
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116789074 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310786970.8
(22)申请日 2023.06.29
(71)申请人 马小绒
地址 650000 云
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