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电荷耦合器件(CCD)简介 电荷为信号 基本功能:电荷的存储和转移 工作过程: 产生、存储、传输和检测 两类：电荷包在半导体和绝缘体之间，界 面传播（SCCD）；电荷包存储在离表面一定深度的体内，体内传播（BCCD）CCD类型：表面沟道CCD（SCCD）：电荷包存储在半导体与绝缘体之间的界面，并沿界面传输；体沟道CCD（BCCD）：电荷包存储在离半导体表面一定深度的体内，并在半导体体内沿一定方向传输。工作过程：电荷的产生、存储、传输＆检测。CCD应用的分类： 在电子计算机或数字系统中信息存贮与处理摄像装置主要特性：1.体积小，重量轻，耗电少，启动快，寿命长2.光谱相应范围宽3.灵敏度高4.暗电流小，监测噪音低5.动态响应范围宽6.分辨率高7.与微光像增强器级联，低照度下可采集信号8.有抗过度曝光性能电荷存储 基本单元是MOS 图5-14 图5-15 图5-16 图5-17 表面势、势阱氧化层栅电极GP型半导体耗尽区反型层uG=0uGuthuGuth构成CCD的基本单元是MOS（金属－氧化物－半导体）结构。当栅极G施加正偏压UG之前（UG=0），P型半导体中的空穴（多数载流子）的分布是均匀的；当栅极电压加正向偏压（UGUth）后，空穴被排斥，产生耗尽区，偏压继续增加，耗尽区进一步向半导体内延伸；当UGUth时，半导体与绝缘体界面上的电势（表面势ФS）变得如此之高，以至于将半导体