一种基于交指结构传感器的非金属膜厚度检测方法.pdfVIP

・76・ 2023年第5期 一种基于交指结构传感器的非金属膜厚度检测方法 宋强，文雨蔥，王自强，黄俊松 (成都工业学院自动化与电气工程学院，成都 611730) 摘要：金属部件常常在易摩擦损坏金属表面的环境中使用，为了保护金属，常常在金属部件外镀一层非金属膜保 护金属 。若非金属膜太薄将不能起到保护金属部件的作用，若非金属薄膜太厚，膜表面的均匀度控制较难，非金属膜厚度 的不均匀性进而会导致薄膜器件的特征波长度发生变化，而膜层整体误差则会导致非金属膜的性能下降 。微波在检测领 域有很大的优势,通过微波对非金属材料具有很大的穿透性可以检测非金属膜的厚度 。本文提出了一种基于交指结构的 新型传感器，用于测量薄膜涂层金属的涂层厚度 。实验成功检测到0. 9mm〜1. 2mm镀在铝表面的PVC膜厚度。 关键词：微波近场；交指结构；传感器标签；谐振频移 中图分类号:TG178 文献标识码：A 文章编号= 1674-957X(2023)05-0076-03 A Non-metallic Film Thick