一种气体流量控制装置.pdfVIP

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  • 2023-09-24 发布于四川
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本实用新型提供了一种气体流量控制装置,包括电磁组件、推杆、滑块及本体,推杆与滑块连接,推杆为带磁材料或设有带磁材料,电磁组件驱动推杆运动,推杆带动滑块靠近或远离电磁组件,本体上设有滑槽,滑块设于滑槽内,滑槽的一侧设有入气孔,另一侧设有出气孔,入气孔、滑槽及出气孔依次连通。通过上述方案,利用电磁组件与推杆之间的磁场,实现滑块在滑槽中运动,滑块改变滑槽与入气孔及出气孔的连通的空间,以改变气流的流量。通过可调节的流量装置,有效节省氮气等气体的使用量,实现节能增效的作用。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210510461 U (45)授权公告日 2020.05.12 (21)申请号 20192

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