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一种制备纳米粉体的直流电弧装置.pdfVIP

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  • 2023-09-24 发布于四川
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一种制备纳米粉体的直流电弧装置.pdf

    本实用新型涉及一种制备纳米粉体的直流电弧装置，属于纳米粉体制备技术领域。该装置包括工作台架、制粉室、水冷阴极、阳极、水冷铜坩埚、沉积室、步进电机和罗茨泵，制粉室、沉积室均设置在工作台架上，制粉室的顶端开设有进气口，进气口外接进气管，制粉室的底壁开设有通孔Ⅰ，步进电机设置在工作台架上，步进电机的输出轴上固定设置有支撑杆，支撑杆穿过制粉室底壁的通孔延伸至制粉室腔体内，支撑杆的顶端固定设置有水冷铜坩埚，阳极的底端竖直设置在水冷铜坩埚内，阳极的正上方竖直设置有水冷阴极，水冷阴极的另一端固定设置在制粉室顶

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210498383 U (45)授权公告日 2020.05.12 (21)申请号 20192

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