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- 2023-09-24 发布于四川
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本实用新型提供一种便于摆放不同长度的单晶硅棒转移装置,包括晶棒定位架、晶棒支撑架、装置推动手柄、防滑隔离片、支架底座和运输轮,其特征在于:所述晶棒定位架的上段部固定设置有晶棒支撑架,所述晶棒支撑架的上表面设置有防滑隔离片,所述晶棒定位架的外侧设置有装置推动手柄,所述晶棒定位架的底部设置有支架底座,且支架底座的底部装设有运输轮,其中单晶硅棒定位架及晶棒支撑架依据不同晶棒长度使用不同间隙进行设计,本实用新型提供一种便于摆放不同长度的单晶硅棒转移装置,使得不同长度单晶圆硅棒更便于放置、运输,提高单晶流
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210502803 U
(45)授权公告日
2020.05.12
(21)申请号 20192
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