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本实用新型公开了一件元件测试表面清洁工具,涉及半导体工业元件清洁技术领域。本实用新型设置有真空管,真空管的一端与外部真空泵或吸尘器等真空吸附设备,真空管的另一端设置连接头,连接头用于连接真空吸头,在使用时,在真空吸头上包裹无尘布,对元件的测试表面进行擦拭,同时还可以将无尘布蘸取酒精,对元件的测试表面进行擦拭,在真空吸头上开设有真空吸附口,对于附着在元件测试表面上比较顽固的灰尘,可以采用真空吸附口,将灰尘吸附出去,本申请的清洁工具在对元件测试表面进行清理,在清理过程中不需要断电停机,不会对操作人员
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210523274 U
(45)授权公告日
2020.05.15
(21)申请号 20192
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