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本实用新型涉及一种划片机划片去离子水流量自动报警装置，包括划片机和设置在划片机上的清洗观测框，所述清洗观测框内部设置有清洗水管，所述清洗水管设置有多条，所述清洗水管的中间连接有流量传感器，所述清洗水管靠近流量传感器的两侧分别设置有阀门，所述清洗观测框的顶部安装有与清洗水管数量相等的报警器，还包括PLC控制器，所述PLC控制器与流量传感器信号连接，所述PLC控制器分别与报警器和阀门电性连接。本实用新型通过在清洗水管上设置流量传感器，实时监控去离子水的流量，使其保持在正常流速，对晶圆片表面会残留切削
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210535629 U
(45)授权公告日
2020.05.15
(21)申请号 20192
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