单晶炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法.pdfVIP

单晶炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法 1 范围 本标准规定了单晶炉热平衡、热效率和综合能耗的计算方法。 本标准适用于单晶硅棒生产工序的单晶炉热平衡、热效率及综合能耗的计算。对于其它类型的电阻 炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参照采用本标准。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 2589 综合能耗计算通则 3 热平衡测试与计算基准 物料平衡和热平衡计算单位 物料平衡、热平衡的计算单位分别为kg、kJ。 基准温度与基准压力 以单晶炉车间内的环境平均温度为基准温度。 基准压力为1个标准大气压，即101325 Pa。 热平衡测试范围 以单晶炉炉体为边界，即炉体外壳、进气口端口及真空管道排气端口为边界设定的热平衡系统。 热平衡测试工况和测试频次 单晶炉至少正常运行一个生产周期后方可进行测试，每次测试要覆盖一个完整的生产周期，且测试 次数不低于2次。 4 测定项目及测定方法 测定前的准备 4.1.1 准备好测定用仪表；进行必要的校正，使之达到规定的精度。 4.1.2 布置测量点，开设测