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超精密加工垂直运动机构的设计 超精密加工垂直运动机构的设计 超精密加工垂直运动机构的设计 摘 要 超精密加工即加工精度可以控制在微米级，甚至是纳米及以下的先进加工技术。由于以旋转电动机和滚动丝杆传动的定位工作台存在传动环节多、传动效率低、响应滞后大、摩擦损耗大等问题，而传统的检测技术也无法提供超精密加工过程中所需的极为详密的物理参数，现应用移植创新设计方法，基于静压导轨和直线电机驱动技术的超精密工作台，创新性地设计一种新型的精密运动机构。我国是制造业大国，随着我国工业产业全面向高精尖方向迈进，对超精密加工技术的需求已是迫在眉睫，航空航天、精密电子、国