一种涂胶轨道工作腔体的排风风速测量装置.pdfVIP

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2023-09-27 发布于四川
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一种涂胶轨道工作腔体的排风风速测量装置.pdf

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本实用新型涉及一种涂胶轨道工作腔体的排风风速测量装置，属于半导体设备技术领域。包括排风传导桶，所述排风传导桶罩设于涂胶工作腔体上，所述涂胶工作腔体顶部具有排风口，使得所述排风传导桶与涂胶工作腔体相贯通；所述排风传导桶上设有风速测试仪，对汇聚于排风传导桶内风的风速进行测量并显示数值。所述排风传导桶底部设置密封圈，下压所述排风传导桶，使得所述密封圈与胶盘口贴合。所述排风传导桶外周对称设置把手。一种涂胶轨道工作腔体的排风风速测量装置，操作简单、便于风速读取，保证了单次风速测试无误差，大大缩短了测试时间

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219758285 U (45)授权公告日 2023.09.26 (21)申请号 202320399826.4 (22)申请日 2023.03.07 (73)专利权人江苏新顺微电子股份有限公司地址