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该实用新型涉及一种自动化处理设备，包括：晶圆放置位，用于放置晶圆；第一导轨，晶圆放置位安装至第一导轨，并能够沿第一导轨的长度方向运动；药液槽，设置于第一导轨的第一端的下方，用于放置药液，且当晶圆放置位运动至第一端时，晶圆放置位浸入药液槽内放置的药液中；药液泵，连通至药液槽，用于泵出药液槽内放置的药液；药液箱，放置有药液，连通至药液槽，用于给药液槽提供处理晶圆的药液。本实用新型中的自动化处理设备可以控制晶圆的浸泡时间，且具有连通至药液槽的药液泵，可以将药液槽内的药液抽出，以实现替换，还具有连通至药
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210575849 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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