1赛默飞iCAPRQ_TQICPMS在微电子行业中应用.pdf

iCAPTM RQ/TQ ICP-MS在半导体行业中的应用 ICP-MS Application Team Thermo Fisher Scientific Proprietary Confidential The world leader in serving science 微电子分析应用 • 低的检出限和背景等效浓度pg/ml 到sub pg/ml • 各种样品基体 • 硅基 单晶多晶硅，三氯氢硅 • 双氧水 氨水 • 矿物酸 硝酸盐酸氢氟酸硫酸磷酸 • 有机试剂IPA TMAH • 仪器具有高灵敏度 • 高的样品测定通量 • 进样系统可耐一些强酸，如氢氟酸，硫酸， 磷酸 2 Proprietary Confidential ThermoFisher ICP-MS Portfolio Element 2/XR ICP-MS