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本实用新型涉及一种全自动硅片超声波清洗机,包括上料人员,所述上料人员的右侧放置有机体,且机体的内部左侧固定有上料传送,并且上料传送的后侧固定有整机电控柜,所述上料传送的右侧安装有超声波振板,且超声波振板的下端前侧开设有法兰掏渣孔,并且超声波振板的两侧均固定有电加热管,所述超声波振板的上端左侧固定有进水管路,所述机体的内部前下端固定有摆动主动轴,且机体的下端表面安装有可调节地脚,所述超声波振板的右侧上端设置有慢拉提升机。该全自动硅片超声波清洗机,设置的多工位连续清洗线,清洗部分传动形式采用多臂机械
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210546733 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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