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本实用新型公开了晶体器件超洁净双层炉腔氮气保护固化炉，具体为固化设备领域，包括包括除尘腔、支撑板，所述除尘腔的两侧开设有第一输送口，所述除尘腔顶部的两侧开设有风扇安装孔，所述除尘腔的两侧与支撑板的端部可拆卸安装，所述支撑板的端部可拆卸安装有传送装置，所述传送装置的端部固定安装有从动轮，所述除尘腔底部的左侧固定安装有电机，所述电机的输出轴固定安装有主动轮，所述主动轮的外沿与从动轮的外沿传动连接，所述传送装置的表面放置有晶体器件放置台。本实用新型通过设置了传送装置的传送带为耐高温材质构件，实现了传送
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210569915 U
(45)授权公告日
2020.05.19
(21)申请号 20192
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