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晶圆倒片装置及晶圆倒片组件.pdfVIP

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  • 2023-09-30 发布于四川
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晶圆倒片装置及晶圆倒片组件.pdf

    本实用新型公开一种晶圆倒片装置及晶圆倒片组件，该晶圆倒片装置包括底板，底板上设置有第一晶圆盒放置位以及第二晶圆盒放置位，第一晶圆盒放置位与第二晶圆盒放置位在底板上沿第一方向依次布置；第一晶圆盒放置位设置有第一定位槽，第二晶圆盒放置位设置有第二定位槽；底板在第一方向的第一端设置有滑动组件；并且，底板在第一方向的第二端设置有限位块，限位块自底板的上表面向上凸起，限位块设置在第二定位槽远离第一定位槽的一侧。该晶圆倒片组件包括上述的晶圆倒片装置。本实用新型能够可靠的将第二晶圆盒固定在底板上，避免晶圆转置

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219778859 U (45)授权公告日 2023.09.29 (21)申请号 202320146539.2 (22)申请日 2023.01.19 (73)专利权人 英诺赛科 （珠海）科技有限公司

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