光电检测装置和电子设备.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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光电检测装置和电子设备.pdf

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本公开涉及一种光电检测装置和电子设备，其允许减少来自片上微透镜的表面反射并抑制图像质量的劣化。提供了一种光电检测装置，其包括：多个像素，其具有光电转换单元；片上微透镜，其以与各个所述像素相对应的方式形成；和防反射膜，其形成在所述片上微透镜的表面上，所述防反射膜通过使第一无机膜和第二无机膜层叠构成，所述第一无机膜由金属氧化物膜形成，所述第二无机膜形成在所述第一无机膜的表面上并且具有比所述第一无机膜更低的折射率。例如，本公开可以应用于CMOS固态摄像装置。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116830269 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202280009231.1 (74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理