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本发明属于离子束操纵技术领域，具体涉及一种束流在线电荷极性转换装置，包括底部密封连接加热炉(3)的外筒(1)，所述外筒(1)筒壁上对称设置一对能够通过离子束流的外筒束流通道孔(6)，所述加热炉(3)用于通过加热工作介质产生工艺气体，还包括通过能够密封设置在所述外筒(1)顶部的法兰(8)设置在所述外筒(1)内的内筒(2)，所述内筒(2)底部的开口位于所述加热炉(3)顶部的开口上方，所述内筒(2)的筒壁上对称设置一对与所述外筒束流通道孔(6)相对应的、能够通过所述离子束流的内筒束流通道孔(7)。该装
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 107293347 A
(43)申请公布日
2017.10.24
(21)申请号 20171
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