第9章-电子光学基础课件.pptxVIP

【教学内容】 电子波与电磁透镜。 电磁透镜的分辨率。 透镜的景深和焦长。 【重点掌握内容】 电磁透镜的像差。 电磁透镜的分辨本领。 电磁透镜的景深和焦长。 【教学难点】 电子在磁场中的运动和磁透镜。;一. 电镜的发展历史;(一) 光学显微镜的局限性 一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来 揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P区（几十埃）无能为力。;最小分辨距离计算公式;;;对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也 只有1.5－1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和 有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 N.A_（Numerical Aperture )光纤的数值孔径， 是指能够保证全反射的最大入射角度。表示光纤接收和传输光的能力。一般用一个光锥去描述，这个光锥角的正弦值大小就是数值孔径。;(二) 电子的波长;电子波长与加速电压的关系（经相对论修正）;电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁 场的力，使其会聚或发散，从而达到成像的目的。 ?由静电场制成的透镜—— 静电透镜 ?由磁场制成的透镜 —— 磁透镜;磁透镜和静电透镜相比有如下的优点;磁透镜结构剖面图;磁透镜使电子会聚的原理;图1-3（b）A点位置的B 和v的分解情况;电子在磁场中要受到磁场作用力：;当电子走到C点位置时，Br的方向改变180， Ft随之反向，即在C处有一离轴作用力，可以抵消与A点相当的向轴作用力， 由于磁 场中心部分比两旁的强，因此在A、C中心 部分受到特别大的向轴力是抵不掉的，电 子继续向轴偏转。出磁场后又是直线运动。这条直线与轴成β角，并与轴交于O’点。;有极靴的透镜极靴使得磁场被聚焦在极靴上下的间隔h内，h可以小到1mm左右。在此小的区域内， 场的径向分量是很大的。计算透镜焦距f的近似公式为：;;;电磁透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨距离，对电镜分辨本领起作用的象差有几何象差（球差、象散等）和色差。 几何象差是因为透镜磁场几何形状上的缺???而造成的； 色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。;(一) 球差;;定义： 由于透镜的磁场周向不对称所引起的一种像差。 成因：磁场不对称时，就出现像散。有的方向电子束的折射比别的方向强，如图所示，在A平面运行的电子束聚焦在PA点，而在B平面运行的电子聚焦在PB点，依次类推。这样，圆形物 点的象就变成了椭圆形的漫散圆斑，其平均半径为还原到物平面 为象散引起的最大焦距差； 透镜磁场不对称，可能是由于极靴被污染，或极靴的机械不对称性，或极靴材料各向磁导率差异引起。 减小措施：减小 和 ；像散可由附加磁场的电磁消像散 器来校正。;;定义：色差是由于电子的能量不同、从而波长不一造成的。 成因：电子透镜的焦距随着电子能量而改变，因此，能量不同的电子束将沿不同的轨迹运动。产生的漫散圆斑还原到物平面，其半径为 是透镜的色差系数，大致等于其焦距；是电子能量的变化率。 减小措施：减小样品厚度；稳定加速电压;;引起电子束能量变化的主要有两个原因：;(四) 理论分辨距离 光学显微镜的分辨本领基本上决定于像 差和衍射，而像差基本上可以消除到忽略不 计的程度，因此，分辨本领主要取决于衍射。 电子透镜中，不能用大的孔径角，若这 样做，球差和象差就会很大，但可通过减小孔径角的方法来减小象差，提高分辨本领，但不能过小。;显微镜的分辨极限是;相对应的最佳光阑直径;四. 电磁透镜的景深和焦长;景深的关系可以从图1-6推导出来。在的条件下，景深 如 弧度时，Df 大约是 200～ 2000nm，这就是说，厚度小于2000 nm的试样，其间所有细节都可调焦成象。由于电子透镜景深大，电子透镜广泛应用在断口观察上。;;图1-7是焦长的示意图。由图可以看出，;