电容介质结构、电容器阵列结构及制备方法.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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电容介质结构、电容器阵列结构及制备方法.pdf

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本发明提供了一种电容介质结构、电容器阵列结构及制备方法。本发明提供的电容介质结构通过引入高介电常数材料及低漏电材料，获得了相比现有技术具有更优的高电容值与低漏电性能的电容介质结构。本发明还提供了一种电容介质结构电容器阵列结构及其制备方法，基于本发明所提供的电容介质结构所制备的电容器阵列结构具有更高的电容值及更好的抗漏电性能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109003974 A (43)申请公布日 2018.12.14 (21)申请号 20181