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本发明公开了一种液体静压导轨稳态性能实时测量装置及方法，属于超精密机床关键运动部件性能测试领域。该测量装置包括直线运动误差测量模块、俯仰姿态测量模块、油腔压力测量模块和油膜温度测量模块，直线运动误差测量模块安装在液体静压导轨的溜板上，并位于导轨一侧以实时测量导轨的直线运动误差，俯仰姿态测量模块安装在溜板上，并位于导轨上方以实时测量导轨的俯仰姿态，油腔压力测量模块设于液体静压导轨的滑块上，并与滑块上的油腔导通以实时测量油腔压力，油膜温度测量模块设于滑块内且靠近油腔，以实时测量油膜温度。本发明可实现
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110142647 A
(43)申请公布日
2019.08.20
(21)申请号 20191
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