基于MEMS技术的SnO2氢传感器的制作与电路设计的中期报告.docx

基于MEMS技术的SnO2氢传感器的制作与电路设计的中期报告 本项目旨在研究基于MEMS技术制作的SnO2氢传感器，并设计相关电路进行测试。在前期的研究中，我们已经完成了对SnO2氧化物的性质和制作工艺的深入探究，以及对氢气敏感性的测试。 本阶段的工作重点在于制作SnO2氢传感器，并建立相应的电路进行测试。首先需要进行的是设计和制作微机电系统芯片（MEMS）。通过光刻、蒸发、沉积、蚀刻等工艺步骤，将SnO2敏感膜和电极等元器件制作在Si基片表面上。 接着，需要进行MEMS的封装。我们采用了焊接方式将MEMS芯片封装在测试板上，并使用氮气进行处理，确保MEMS中的有害物质收到控制，并且没有获得额外的氢气信号。 然后，必须设计相应的氢气传感器电路。设计的电路需要保证稳定性和高精度的读取。我们将使用多种压力传感器、运放放大器和滤波器等元器件来构建电路，并使用示波器等测试工具进行调试和验证。 最后，我们将进行各种氢气浓度的测试，以验证传感器的性能。我们计划使用电化学法、红外分光法等方法对测试结果进行检验，确保数据的准确性和科学性。 总之，本项目的中期报告获得了很好的进展，我们已经完成了MEMS芯片的制作和封装，接下来的工作是完成电路的设计和测试，以及对传感器的诊断和调整。