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本发明公开了一种氮化铝陶瓷材料及其制备方法和应用，该制备方法包括以下步骤：将微米级氮化铝粉体、单层石墨烯和烧结助剂混合，球磨，制得混合粉末；将混合粉末与成型剂混合，模压成型，制得粉末胚体；对粉末胚体进行烧结，得到氮化铝陶瓷材料。本发明制得的氮化铝陶瓷材料的相对密度达到98.8％以上，体电阻率在109Ω·cm～1011Ω·cm，热导率超过200Wm‑1K‑1，具有成本低廉、缺陷结构少、热导率高和电阻率可调等优点，是一种性能优异的新型电介质层材料，可以用于制备性能优异的静电卡盘，使用价值高，应用前
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116813352 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310786544.4 H01L 21/683 (2006.01)
(22)申请日 2023.06
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