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本发明公开了TiAlCrVSiN/TiAlCrVSiON纳米多层复合刀具涂层及制备方法。该涂层采用涂层自生成技术和高功率磁控溅射技术方法制备，所述涂层包括：TiAlCrN过渡层、交替沉积的耐高温、富氧的TiAlCrVSiON单层和高硬度、富氮TiAlCrVSiN单层。本发明通过自生成涂层技术，同时结合高功率脉冲磁控溅射沉积技术，可以获得兼具高硬度、强韧性、热稳定性好和高温耐摩性能优异的纳米多层复合刀具涂层；同时通过调节调制周期，可以降低涂层内部的残余应力，改善涂层致密性；进一步提高涂层的综合力学
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116815115 A
(43)申请公布日 2023.09.29
(21)申请号 202310059745.4
(22)申请日 2023.01.19
(71)申请人 湖南城市学院
地址 413000
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