垂直3D存储器装置及其制造方法.pdfVIP

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2023-09-30 发布于四川
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垂直3D存储器装置及其制造方法.pdf

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本申请案涉及一种垂直3D存储器装置及其制造方法。垂直3D存储器装置可包括：衬底，其包含每一者与多条数字线中的相应者耦合的多个导电接触件；多个字线板，其用所述衬底上的相应电介质层彼此分离，包含用以蛇形形状延伸的电介质材料与至少第二组字线分离的至少第一组字线及用以蛇形形状延伸的电介质材料与至少第四组字线分离的至少第三组字线；至少一个分离层，其平行于数字线及字线两者；及多个存储元件，每一存储元件形成于相应凹部中。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114981966 A (43)申请公布日 2022.08.30 (21)申请号 201980103452.3 (51)Int.Cl.