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激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台.pdfVIP

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  • 2023-09-30 发布于四川
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激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台.pdf

    本发明公开了一种激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，包括水平的板状运动台和XYZ三方向驱动单元，XYZ三方向驱动单元包括同步带，同步带内包括三个同步带轮，三个同步带轮将同步带张紧成等腰顶点朝下的等腰三角形；同步带上端的一段为水平段带体，板状运动台水平于所述水平段带体上侧，且水平段带体的上侧中部至少存在一个节点与所述板状运动台底面固定；本发明将板状运动台的XYZ三方向的位置微调结构高度集成化，实现空间节约的目的。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115849048 A (43)申请公布日 2023.03.28 (21)申请号 202211590933.1 (22)申请日 2022.12.12 (71)申请人 利晶微电子技术（江苏）有限公司 地址

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